內(nèi)容編輯
日本ORC紫外線光量計UV-351/UV-351-25/UV-351-42將受光部與主體合為一體的小型輕便型測量儀器。它是一種與 UV 曝光設備和 UV 傳送帶兼容的測量儀器。
UV-351/UV-351-25/UV-351-42可以選擇光強度測量、照度測量和峰值照度測量等多種測量模式。 它有一個耐熱的金屬機身，結(jié)構(gòu)堅固。
規(guī)格
測量波長范圍：310-385nm（相當于UV- SD35 ）
測量光強范圍：1-19999mJ/cm 2
測量照度范圍 0.1-100.0mW/cm 2
擬合精度：在我們的紫外線標準的 ± 1.5% 以內(nèi)
重復精度：±1.5%以內(nèi)
◆ 關(guān)于SD型和SN型
SN型已被長期使用我們曝光設備和輻照設備的客戶廣泛使用，保證了工藝管理的連續(xù)性。
SD 型用于已經(jīng)使用其他公司制造的照度計的客戶在半導體和液晶基板的制造過程（本公司制造的曝光設備）現(xiàn)場重視確保與那些測量儀器的數(shù)據(jù)兼容性。 SD型用于投影式曝光設備和液晶基板周邊曝光設備），推薦給使用全新照度計的客戶。
◆ 關(guān)于SD型和SN型指示值
SN型在與SD型的指示值相同的測量條件下測量我們測量組中用作校準輻射源的高壓UV燈的365nm的照度線，以確保舊過程數(shù)據(jù)的兼容性 。進行調(diào)整，使其顯示比顯示時顯示的照度值高 39%：mW/cm 2顯示）。
◆ 關(guān)于與其他公司生產(chǎn)的照度計的數(shù)據(jù)兼容性
與可見光照度計（以 LUX 為單位測量家庭、辦公室、商店、博物館等的亮度的照度計）不同，適用于所有紫外線照度計的標準尚未建立（似乎制作 JIS 的工作只用于非常有限的用途）。
每個公司的相對光譜靈敏度從測量的峰值波長（相對光譜靈敏度特性用 1 表示的波長）開始，即使它是為了測量主要由發(fā)射線組成的光源的照度而制作的365nm 短波長側(cè)（300nm～310nm左右）和長波長側(cè)（380nm～400nm左右）的上升、下降波長及其前后的曲線略有不同。
此外，雖然在設計方面正在努力使被稱為COS θ特性的光接收器的光接收角特性更接近理想曲線，但現(xiàn)實是它尚未實現(xiàn)。